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1.글러브박스-증착기 통합 모델
- Antechamber , Purifier (ppm, O 2, H 2O)센서, glove 포트
- Thermal evaporator : 증착원, 열원, 회전, 증착율 모니터, 빠른 진공도 도달 10 -6 –10 -7 Torr (30분). -
2. 글러브박스-스핀코팅- 지속적인 질소 공급 및 벤팅
- 두개의 핫플레이트 (~350 ºC)와 스핀코터 (100 rpm ~ 6000 rpm). -
3. 태양광 시뮬레이터1-sun (AM1.5G) 조건에서 태양전지의 성능 측정. -
4. QE&PD 측정 시스템1/f Noise, EQE/SR (bias), I-V (𝜆 𝑚𝑜𝑛𝑜), Transient Current 측정. -
5. 분광형광계 (FS-5)PL, TRPL, PLQY 측정. -
6. 4-point probe박막/기판의 면 저항(sheet resistance) 측정. -
7. 자외선-오존 클리너표면의 유기 오염 제거, 표면 활성화, 공정 전 표면 처리. -
8. 초음파 세정기전구체 용해 보조, 기판 세척.
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