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김형택 증명사진

  • 이름김형택
  • 주전공전자재료(반도체재료, 박막공정 및 소자), 플라즈마 응용공정
  • 담당과목반도체물성론, 반도체 집적회로공정, 반도체 소자공학, 진공공학, 전자현미경
  • 전화번호032-835-8274
  • E-mail kim95118@inu.ac.kr
  • 홈페이지 -
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학       력
1990.05.30 Univ. of South Dakota  공학박사
1985.05.22 Univ. of Notre Dame  공학석사
1983.02.26 건국대학교  공학사
연구실적
<논문> 
Modelling of Optimum Design of High Vacuum System for Plasma Process, The International Journal of Advanced Smart Convergence , 제10 권권(집) , 제1 호호 , PP.159~165 , 2021.03.31
A Study on Applicability of VacCAD Simulator, The International Journal of Advanced Smart Convergence , 제8권(집) , 제4호 , PP.200~206 , 2019.12.30
Simulation of Vacuum Characteristics of High Vacuum System Modelled by VacCAD, The International Journal of Advanced Smart Convergence , 제7권(집) , 제4호 , PP.84~91 , 2018.12.31
Simulations of the Performance Factors on Vacuum System, The International Journal of Advanced Smart Convergence , 제6권(집) , 제4호 , PP.1~8 , 2017.12.29
Simulation of Modeling Characteristics of Pumping Design Factor on Vacuum System, The International Journal of Advanced Smart Convergence , 제5권(집) , 제2호 , PP.1~7 , 2016.05.31
Simulations of Effects of Variable Conductance Throttle Valve on the Characteristics of High Vacuum System, The International Journal of Internet, Broadcasting and Communication , 제7권(집) , 제2호 , PP.28~35 , 2015.07.31
Analysis of High Vacuum System Based on the Applications of Vacuum Materials, Transactions on Electrical and Electronic Materials , 제14권(집) , 제6호 , PP.334~338 , 2013.10.31
디스플레이공정 진공시스템 밸브응용에 따른 진공특성 전산모사, 한국인터넷방송통신학회 논문지 , 제12권(집) , 제2호 , PP.77~83 , 2012.04.02
진공펌프 조합에 의한 반도체공정 진공시스템 진공특성 전산모사, 전기전자재료학회논문지 , 제24권(집) , 제6호 , PP.449~457 , 2011.06.30
반도체공정 고진공시스템 진공특성에 대한 배기도관 컨덕턴스 영향 전산 모사, 한국전기전자재료학회지 , 제23권(집) , 제4호 , PP.287~292 , 2010.04.01
반도체공정 응용 터보분자펌프의 개발기술연구, 공학기술연구소 논문집 , 제24권(집) , 제2호 , 2009.12.01
Simulation of outgassing effects of vacuum materials on vacuum characteristics, 반도체및디스플레이장비학회지 , 제8권(집) , 제1호 , PP.7~12 , 2009.03.30
확산펌프의 예열 및 배플 응용에 따른 역류특성 평가, 공학기술연구소논문집 , 제23-1권(집) , PP.139~146 , 2008.07.30
Sputter-Ion Pumping의 기체 특성 전산모사, 공학기술연구소논문집 , 제23-1권(집) , PP.147~152 , 2008.07.30
컨덕턴스를 고려한 최적화 도관을 가지는 토보분자펌프 고진공시스템 전산모사, 공학기술연구소논문집 , 제22-2권(집) , 2007.12.31
터보분자펌프의 구조와 보조펌프에 따른 진공특성 전산 모사, 공학기술연구소논문집 , 제22-2권(집) , 2007.12.31
진공시스템 성능에 대한 설계인자 영향 전산모사, 한국진공학회지 , 제16권(집) , 제6호 , PP.405~413 , 2007.11.30
특정 진공영역의 최적화 진공펌프 구성 전산모사, 공학기술연구소논문집 , 제22-1권(집) , PP.109~ , 2007.07.30
폐기물처리 플라즈마 환경복원 기술, 한국폐기물학회지 , 제24권(집) , 제1호 , PP.1~8 , 2007.02.01
고진공 특성에 대한 기체방출 영향 전산모사, 인천대학교 논문집 , 제32권(집) , PP.187~204 , 2006.12.31
진공도에 대한 저진공 및 보조펌프 영향 전산모사, 인천대학교 논문집 , 제32권(집) , PP.265~222 , 2006.12.31
VacSim-Multi 전산모사기를 이용한 주사현미경(SEM) 진공시스템의 최적화 설계, 공학기술연구소논문집 , 제21권(집) , 제1호 , PP.77~86 , 2006.08.31
교수소개
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