특허등록 현황
글번호
164374
일 자
12.10.11 00:00:00
조회수
9958
글쓴이
김준호, 이동엽, 류혜선
기술명 : 고전기장 도움 초음파 스프레이 증착장치 및 방법
비진공 환경하에서 액상 기반으로 박막을 제작하는 기술에 관한 발명이다. 초음파 분무 열분해 법을 기본적으로 사용하는데 고 정전기장을 분무되는 출구 말단부와 기판 아래부분에 인가하여 증착율을 향상시킨 것이 기술 개발 내용이다. 본 발명은 고 정전기장 도움 분무 열분해 장비를 (High Electrostatic Field Assisted Ultrasonic Spray Pyrolysis System) 고안한 것으로 요약된다. 이 방법은 특히 CuInS2 박막과 Cu2ZnSnS4 박막 제작에 효율적이고, 이외에 여러 산화물 박막제작에도 효율적으로 적용된다.
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